【祝】SCREENホールディングス 近畿地方発明表彰 特許庁長官賞を受賞
平成30年度近畿地方発明表彰で株式会社SCREENホールディングスが特許庁長官賞を受賞。
おめでとうございます。
平成30年度近畿地方発明表彰
受賞名：「特許庁長官賞」
受賞名：「特許庁長官賞」
賞対象：パドル処理による基板を除電する方法（特許第4498893号）
賞概要：本発明は、半導体製造工程に用いられる基板洗浄装置に関するものであり、洗浄処理中摩に起因して生じる板の帯電量を
低減することで、基板上に形成される半導体デバイスの不良の発生を防止するものである。本発明の実施による効果は
半導体業界の要望に応えるものとなり、国内のみならず世界の大手半導体メーカーでも採用され、同社の枚葉洗浄装置の
高い世界シェアに繋がっている。
受賞者（発明者）：橋詰 彰夫 氏
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
ビジネス本部 グローバルフィールド事業部
ポストセールスマネジメント部 副参事
ビジネス本部 グローバルフィールド事業部
ポストセールスマネジメント部 副参事
受賞名：「実施功績賞」
会社名： 株式会社SCREENホールディングス
奨励賞では、株式会社SCREENグラフィックソリューションズの「マルチチャンネル方式の画像記録装置（特許第4484453号）」が受賞。
※表彰式：平成30年11月21日
※詳細は発明協会以下URLをご確認ください。
